1) 공정진단제어 기술연구회

• 목 적 : 국내/외의 최신 공정진단제어 기술을 발굴하여 제조사의 내재화 기술로 발전시키기 위한 체계 구축을 지원하려는 주된 목적과 기술
  road map을 만들어 정부와 민간의 기술 협력 사업의 방향을 제시하며 기술을 공론화하여 기술 발전의 장으로서 역할
• 회 장 : 김곤호 교수(서울대, 학회 기술부회장)
• 주요 내용 : ① 반도체디스플레이 공정진단 제어분야 최근 발표 논문과 기술 소개
  ② 공정진단제어 관련 기술 정보교류 등

2) 연구장비 유지관리 기술연구회

• 목 적 : 반도체/디스플레이 연구시설의 장비유지관리 효율화 방안을 모색하고, 관리업무의 효율적인 추진을 위한 실행 방안 수립
• 회 장 : 김왕기 박사(한국광기술원, 학회 기술이사)
• 주요 내용 : ① 기술연구회 모임을 통해 각 연구기관 운영현황 정보 공유 및 발전방안 토의
  ② 워크숍 개최를 통한 연구기관의 장비운영, 안전관리, 공동연구과제 기획 추진

3) 플라즈마 RF 기술연구회

• 목 적 : 반도체/디스플레이 제조장비용 플라즈마 RF부품 업체 및 대학/연구기관의 발전을 도모하고, 관련 연구자들의 협력 활성화를 추진
• 회 장 : 정진욱 교수(한양대, 학회 기술이사)
• 주요 내용 : ① 국책 R&D 과제 발굴 및 수행, 기술수요조사 제안, 학술대회 세션 운영
  ② 기술로드맵, 아카데미, 워크숍 및 교재 편찬 추진 등