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세미나 프로그램 - 2018년

구분 시간 분야 제목 발표자 진행
24일(수)
오후		 13:30-14:10 기조발표

PE-CVD 설비 공정진단 시스템

 왕현철 부장(원익IPS) 초청
14:10-14:50 센서 플라즈마 공정진단 모니터링을 위한 전기적 탐침 기술
 정진욱 교수(한양대) 초청
14:50-15:30 센서 분광 분석을 이용한 실시간 공정 진단 기술
 이창석 대표(KSP) 참여
15:30-15:50 - Coffee Break - -
15:50-16:30 센서 고정밀 RF Power Sensor 개발 조철희 학생(충남대) 초청
16:30-17:10 센서 실시간 배기가스 모니터링 센서 (상압-진공-고진공) 홍장식 상무(프라임솔루션) 참여
25일(목)
오전		 10:00-10:30 인프라 반도체 공정용 소재 및 부품 성능 평가 임성규 팀장(NNFC) 초청
10:30-11:00 인프라 반도체산업 생태계 변화에 따른 반도체 장비기술 인력양성 현황 민우식 교수(명지대) 참여
11:00-11:30 SW/ 알고리즘 공정진단/제어 알고리즘을 위한 플라즈마 엔지니어링
데이터베이스 개발		 김종식 박사(NFRI) 참여
11:30-12:00 센서 OES를 이용한 플라즈마 균일도 측정 기술 김인중 박사(연세대) 초청
25일(목)
오후		 13:30-14:10 센서 공정 및 장비 진단을 위한 센서 기술개발 이준용 대표(레인보우) 초청
14:10-14:50 센서 반도체 디스플레이 공정진단용 측정 센서 개발 문지훈 박사(KRISS) 참여
14:50-15:30 어플리케이션 실시간 진단 센서를 활용한 플라즈마 공정 모니터링 김대웅 박사(KIMM) 참여
15:30-15:50 - Coffee Break - -
15:50-16:30 어플리케이션 실시간 가스분석을 통한 공정진단 방법에서 QMS와 TOF 활용 윤석래 대표(EL) 초청
16:30-17:10 어플리케이션 공정용 Plasma 모니터링 손정훈 주임(NPP) 참여
26일(금)
오전		 10:00-10:40 어플리케이션 CVD/ALD용 Precursor Delivery System의 Precursor
Vapor 농도 컨트롤 방법		 김대현 전무(GO E.) 참여
10:40-11:20 SW/ 알고리즘 스마트 장비 컨트롤러 김시홍 대표(유진기술) 초청
11:20-12:00 SW/ 알고리즘 무결점 : 인공지능 품질시스템 김해종 이사(엔셀) 참여

* 상기 프로그램은 사정에 따라 다소 변경될 수 있습니다. 양해 바랍니다.





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