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제7회 반도체·디스플레이 공정진단제어 기술연구회 워크숍 프로그램

*일시: 2024년 8월 20일(화) 09시~ 18시

*장소: 서울대학교 43-2동 B102호 데이터사이언스강의실 (서울 관악)

*주최: 한국반도체디스플레이기술학회(반도체디스플레이 공정진단제어 기술연구회)

시간	주제	연사
08:30~	등록	-
09:00~09:05	연구회 회장 인사말	김곤호 교수 (연구회 회장)
09:05~09:35	PI-APC 기반의 원자두께 패턴닝 제어기술 소개	김곤호 교수 (서울대)
09:35~10:05	반디 공정향 표준화된 고감도 광진단 센서 기술	이진영 박사 (기계연)
10:05~10:20	Break	-
10:20~10:50	설비 진단의 어려움과 센서 데이터 활용 방안	문정일 박사 (삼성전자 )
10:50~11:20	반도체 공정 제어 기술 소개	이종민 교수 (서울대)
11:20~11:50	AI자율운영형 실시간 학습기반 다 변량 미세공정 추적, 예측 및 제어	한대수 대표 (이디코어)
11:50~13:00	점 심	락구정 한정식
13:00~13:50	Lab Tour	플라즈마응용연구실- 공정진단기술 소개
13:50~14:30	Make Your Equipment Smart 반디 공정 장비를 스마트 하게- 시즌 2	윤정식 단장 (한국핵융합에너지연구원)
14:30~15:10	화학적 기계적 평탄화(CMP) 공정의 가상계측을 위한 준지도 회귀 모델	김창욱 교수 (연세대)
15:10~15:30	Break	-
15:30~16:10	반도체 소부장 관점의 반도체공정진단제어	홍상진 교수(명지대)
16:10~16:50	Plasma Enhanced Process Technology and Advanced Package for the Semiconductor Device	원제형 대표이사 (도쿄일렉트론코리아)
16:50~17:30	PI-VM: TTTM에서 부터 Etching Profile 제어까지 Fab Data를 AI에게 학습시키는 법	박설혜 박사 (삼성디스플레이)
17:30~18:00	논의(공정진단제어기술 고도화를 위한 산·학·연의 협력 방안에 대한 의견 수집) 및 마무리	김곤호 교수 (연구회 회장)

*상기 프로그램은 사정에 따라 다소 변경될 수 있습니다.

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