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산·학·연 협력활동 인사말

제6회 반도체·디스플레이 공정진단 제어기술 교류회에 초대합니다.

  안녕하십니까? 2023년도 한국반도체디스플레이기술학회(반디학회) 산하 공정진단제어 

기술연구회(공진단)에서 주관하는 기술연구회 워크숍을 8월 29일(화) 서울대학교 교정에서 

(28동 101호실) 개최합니다. 많은 분들의 관심과 참석을 부탁드립니다.


 본 연구회에서는 반디-데이터의 흐름을 개선하기 위한 최신 기술들을 소개해 오고 있습니다. 

2021년까지 연구회에서는, 반디-데이터의 생성 단계에서 양질의 데이터를 생산하는 기술의 필요성을

 강조하였습니다. 

양질의 데이터를 만드는 기술로서, 취득 데이터의 정밀성의 제고와 함께 데이터가 제공할 정보가 

양질이어야함을 의미하며, 현상학 기반으로 센서 데이터를 가공하여 공정을 설명하는 정보를 제공하는

능력이 있는 데이터를 의미합니다. 따라서 이 데이터를 활용해서 공정 예측 기술 (Virtual Metrology: VM)

기술의 정확성을 획기적으로 개선하고 공정 이격의 원인 분석에 정확성을 높일 수 있음이 보고되었습니다. 

일례로 공정 플라즈마 전공 분야에서 만들어진, 플라즈마 정보 인자 (Plasma Information: PI) 데이터는 

OES 신호로부터 공정 플라즈마 현상 물리에 기초하여 가공된 데이터입니다. 이 데이터를 활용하여 

실제 생산 공정에 적용해서 공정 수율 관리가 크게 개선됨을 소개해 드렸습니다. 

이 결과들은 모두 학술지를 통해서 공개되었으며, 교류회를 통해서 소개되었습니다. 

이는 OES 센서 개념에서 진일보한 PI-OES 센서 개념이 발전해서, 고기능의 OES 센서 개발도

가능하게 하였습니다. 

아울러 원자-분자 물리 분야의 국책 연구소에서 개발되고 있는 공정가스의 반응 데이터들을 보다 

효과적으로 활용할 수 있는 방안으로 활용될 수 있습니다.


  이제부터는, 여러분께서 OES센서 데이터를 사용했는가? 보다는 플라즈마 정보 데이터를 

사용했는가? 라고 질문해 주십시오.


 이번 2023년 워크숍에서는 PI-Sensor 기술과 PI-VM 데이터를 연결해서 실시간으로 공정을 제어하는 

APC 기술 개발 현황을 소개합니다. 

이는 단위 공정 (웨이퍼 및 판넬 제조) 내에서 공정이 진행하는 과정을 데이터화 하여 실시간 데이터를 

구축하는 과정입니다.  단위 웨이퍼 공정 시간에 따라서 공정 장비 운전 데이터-공정 플라즈마 상태 데이터

-공정결과 데이터를 연계해서, 실시간 공정 상태를 파악할 수 있는 시변화 데이터로서 다이나믹 공진단 

데이터를 생성하는 방법을 소개합니다. 실시간 공정 정보를 품은 고품질의 Big Data 기술로서 이를 활용한 

반디 향 AI 기술 개발의 기반을 제공할 것으로 기대합니다. 또한 이를 활용하면, W2W, L2L, PM 관리와 FDC 

기술 개발과 AWC 및 첫 장의 처리 시간을 획기적으로 단축할 수 있는 백업 공정 기술의 발전에 기여할 것으로 

기대됩니다. 또한 장비 간의 실시간 통신을 통해서 장비 간의 공정 이격을 극소화 시키는 TTTM 기술로 발전도 

가능할 것으로 예상이 됩니다.


 워크숍에서는 기술 개발 담당자의 강연과 기술 설명으로 진행되고, 강연과 강연 시간 사이에 대담할 시간을 

넣어 가능한 토의 시간을 충분하게 제공하고자 합니다.  또한 대학 실험실에서 개발되고 있는 공정제어 기술의 

시연도 준비가 되어 있습니다. 워크숍에 많이 참석하셔서 기술 협력 및 정부 기술 자문의 경로를 찾아 보시기 

바랍니다.

감사합니다.


                                                                                                                                         반도체디스플레이 공정진단제어 기술연구회

                                                                                                                                                                                                     회  장   김   곤  호