개요

산·학·연 협력활동 개요

제3회 ALD Academy(ALD Academy 2023) 프로그램(내용소개)

주제 주요내용
ALD introduction
발표자 : 전형탁 교수
(한양대)

ALD공정은 이 공정이 소개된 이후로 산업계나 학계에서 많은 연구와 발전이 이루워졌습니다. 특히 반도체 분야에서는 mainstream공정으로 자리잡게 되었으며 앞으로 반도체 박막 증착 공정에 ALD 개념이 적용된 공정이 많이 개발될 것으로 생각됩니다. 따라서 이 강의의 주요 내용은 ALD의 기초 개념과 응용에 대해 소개하려고 합니다. ALD공정의 각 cycleprecursorchemisorption 반응, steric hinderance와 단원자층 증착 가능성, precursor 개발 그리고 thermalplasma ALD장비에 대해 지난 50년간의 ALD 발전에 대해 요약해 보려고합니다.

ALD 표면화학 분야:
발표자 : 민요셉 교수
(건국대)

- Introduction to in-situ analytical methods for mechanistic study

- Existence of water-stable methyl group in Al2O3 ALD using TMA and water

- Pyridine-catalyzed ALD of SiO2 from HCDS and water

- MLD of titanicone films from TiCl4 and ethylene glycol

- The origin of instability of MLD-grown titanicone films

ALD 디스플레이 응용 분야:
발표자 : 박진성 교수
(한양대)

디스플레이 원리, 구조, 동작방법

ALD공정의 디스플레이 응용

2-1. First Wave : Thin Film Encapsulation,

2-2. Second Wave : Active Matrix Device

2-3. Third Wave : Nano-laminated & Flexible/Stretchable 소재

3. Summary

ALD 메모리 응용 분야:
발표자 : 안지훈 교수

                 (한양대)

반도체 미세화와 집적공정의 paradigm sift로 인해 DRAMflash등 기존의 메모리 소자와 더불어 새로운 개념의 소자들에 대한 연구가 활발히 진행중이며 이에 따라 새로운 기능성 소재 개발이 필요하다. 본 발표에서는 I) 메모리 소자의 전하저장 효율을 증대시키기 위한 박막 설계 및 ii) 차세대 반도체 채널 소재로 각광받고 있는 2차원 반도체 소재의 ALD 기반 대면적 증착 연구의 동향에 대하여 다룬다