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2021년 온·오프라인 춘계학술대회- PROGRAM[5월 20일(목)~21일(금)]

1. 주제: AI²⁺-반도체·디스플레이 소재·부품·장비 미래 기술
2. 일시 및 장소: 2021년 5월 20일(목)~21일(금), 온라인/오프라인: 호텔난타 카페블루(제주)
3. 주최: 한국반도체디스플레이기술학회

일자 / 시간내용 / 내빈 및 연사                              **좌장:김우희 교수(한양대)

5/20(목)
13:00~
13:10		 개회식(개회사 및 축사) / 학회장, 조직위원장

5/20(목)
13:10~
13:40		 Plenary 강연[1]:Nand Flash Memory 기술동향/ 이성훈 담당(SK하이닉스)

5/20(목)
13:40~
14:10		 Plenary 강연[2]: 인공원자 합성 / 정소희 교수(성균관대)

5/20(목)
14:10~
14:40		 Plenary 강연[3]: 2D 반도체 소재/물성 / 박배호 교수(건국대)

5/20(목)
14:40~
15:00		 휴식
- Session 1
[AI]
좌장: 박진섭 교수
(한양대)		 Session 2
[소재/물성]
좌장: 양정엽 교수
(군산대)		 Session 3
[소자/부품]
좌장: 정진욱 교수
(한양대)		 Session 4
[장비지능화]
좌장: 민우식 교수
(명지대)		 Session 5
[사업단]
좌장:박흥수 교수
(연세대)

5/20(목)
15:00~
15:30		 최정욱 교수
(한양대):
Accelerating
deep learning:
from hardware
to software		 정문석 교수
(한양대):
2차원 반도체의
품질 분석 및 성능
향상 연구		 박근오 부사장
(KSP):
고분해능을 갖는
광진단센서를 이용한
반도체 공정진단 활용		 김종식 책임
(핵융합연구원):
플라즈마 장비 지능화를
위한 플라즈마 특성 및
공정 센싱 데이터 개발		 서상훈 총괄책임
(윈텔코퍼레이션):
EUV 마스크용 Metal
Oxide Carbon
Layer Strip 공정 및
상용화 장비 개발
--------------------------
임철환 총괄책임
(아이브이티):

5/20(목)
15:30~
16:00		 김성준 교수
(동국대):
멤리스터기반 시
냅스 모방소자의
장기기억 및 단
기기억특성 구현		 이종수 사장
(메카로):
고품격 전구체 개발로
반도체 제조, 한계 극복
및 미래 일렉트로닉스
시대 준비		 김도완 수석
(뉴파워프라즈마):
반도체/디스플레이
제조공정장비용 RF
Plasma 부품장치		 이효창 선임
(표준연):
플라즈마/공정 측정
데이터베이스 개발
및 소재·부품·장비
신뢰성평가 테스트
베드 구축		 반도체 300mm 급
웨이퍼 불순물 정량
분석을 위한 클러스
터형 분석장비 개발
--------------------------
김기석 총괄책임
(큐알티):

5/20(목)
16:00~
16:30		 양희준 교수
(KAIST):
Van der Waals
Heterostructure
Devices for Tunneling
Phototransistor and
Electronic Spectro-
scopy		 김동욱 교수
(이화여대):
Surface Photo-
voltage Characteri-
zations of Multi-
dimensional Hybrid
Nano-structures		 차승남 교수
(성균관대):
Application of
Functional
Nanomaterials		 송중호 선임
(핵융합연구원):
반도체 플라즈마 공정
장비 지능화를 위한
머신러닝 기술연구		 중성자에 의한 반도
체 소프트에러 검출
상용화 장비 개발
--------------------------
김재현 전무
(원익아이피에스):

5/20(목)
16:30~
16:50		 휴식

5/20(목)
16:50~
17:20		 Plenary 강연[4]: / 삼성 디스플레이

5/20(목)
17:20~
17:50		 Plenary 강연[5]: ALD 최신기술동향 / 전형탁 교수(한양대)

5/20(목)
17:50~
20:00		 이사회, 저녁식사(도시락) 및 포스터부착

5/21(금)
09:00~
09:30		 Plenary 강연[5]: 반도체와 치매 / 김승현 교수(한양대 신경과, 치매학회 회장)

5/21(금)
09:30~
10:00		 김윤석 교수
(성균관대):
Improved sensitivity
of AFM by Machine
learning for exploring HfO₂-based
ferroeletrics		 김재현 교수
(DGIST):
리튬이온배터리
음극재료와
복합고체전해질		 곽노준 팀장
(프라임솔루션):
공정진단 및
플라즈마 모니터링
솔루션 소개		 정상영 책임
(핵융합연구원):
국내 플라즈마
장비/공정 해석기술
개발 현황과 방향
--------------------------
유두열 선임연구위원
(유진테크):		 정운석 총괄책임
(호진플라텍):
HBM(High Band-
width Memory)
반도체용 Micropillar
Bump용 도금장비 및
소재개발

5/21(금)
10:00~
10:30		 김영우 박사
(생기원):
Conceptual
representation of
deep learning and
its application to
medical image
analysis		 박혜성 교수
(UNIST):
Ultrasensitive
Plasmon-
free Surgace-
enhanced Raman
Spectroscopy from
2D Materials		 이동현 사장
(RFPT):
플라즈마 응용을
위한 RF부품
기술동향
Single Thermal
LPCVD Tool의 개발
--------------------------
박창균 수석
(주성 엔지니어링):
차세대 반도체용
시공간 분할 고성능
ALD 증착 장비 개발		 김대현 총괄책임
(지오엘리먼트):
실시간 유량 제어가
가능한 대용량 액상
프리커서 기화
공급장치 개발

5/21(금)
10:30~
11:30		 시상식(경품)

5/21(금)
11:30~
13:00		 점심

5/21(금)
13:00~
17:00		 반도체/디스플레이 소부장 발전방향 토의

5/21(금)
17:00~		 폐회 및 정리

*Session 5: 차세대지능형반도체사업단 우수 수행과제 발표
* 상기 프로그램은 사정에 따라 다소 변경될 수 있습니다.