필요성
- 신기술의 양산 line에 입고 전 미리 가능성 검토 필요함
- 데이터 정리 및 논의 부분에서 신뢰성을 제공할 수 있는 중간자의 역할이 필요함
- 현장에서 제시되고 있는 문제는 설비-진단-공정 결과가 합해져야 분석이 가능하므로 업체간 1:1 대면으로는 해결할 수 없는 경우가 존재함으로
이를 해결하기 위한 버퍼 또는 창구가 필요
목적
- 낱낱의 기술 경험을 tuning하는 작업들의 시각을 제시하여 공론화
- 설비/공정 엔지니어의 언어로 표현할 수 있는 ‘프로토콜’ 제공
- 비즈니스 need가 교류되어 서로 win-win 할 수 있는 창구 구축을 통한 좋은 study 모델 제시
주요 사업
- 테스트 및 패키징 장비 기술: 이상징후 판단 인공지능 이용 기법(기존 기법 대비)/ 개별 프로세스 진단 기반의 운영기법 개발론/ 공정 이상 판단을
위한 Holistic monitoring 방법론
- 센서 기술의 성능 평가 및 어플리케이션 관점의 백업 리커버리에 대한 정량화 방법론 개발 및 경시변화 모니터일 방법론
- 공정진단 기술 분류 개요 정립
- 공정진단 생태계 육성
- · 인력 양성 및 기술 개발의 생태계 구축 → 학부생 차원의 반도체장비/공정 인력양성
- · 석사급 반도체장비/공정진단 인력양성 → 국내 학회/워크샵
- · 박사급 반도체공정진단 인력양성 → 산학과제 및 전략과제
- · 대학연구+ 장비기업 기술개발 → 요소기술 발굴 및 적용(플라즈마 기업/ Non-플라즈마 기업)
- · 센서+장비기업 기술개발 → 요소기술의 구현 및 제품기술개발(센서검증, 장비검증, 양산제품 적용 가능성 검증)
- · 장비기업+소자업체 기술개발 → 생산성 향상 및 응용기술개발
연구회 구성
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기술연구회 2차 회의 (8/25)
주요 활동
기술워크숍
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