산·학·연 협력활동

MEMORY Academy

반도체장비·부품 Academy

반도체 소·부·장 품질경영 Academy

MECARO-ALD Academy

SSD 심포지움

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연구장비 유지관리 기술연구회

플라즈마 RF 기술연구회

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개요

산·학·연 협력활동 개요

제3회 반도체 장비·부품 Academy 프로그램(내용소개)

구분 주제 주요내용 비고
반도체장비
산업 개요		 반도체 장비·부품
산업동향과
글로벌화 과제		 • 반도체산업 시장 및 투자 동향과 전망
• 반도체 장비·부품산업 동향과 전망
• 국내 반도체 장비·부품업체의 글로벌화
제약요인과 해결과제		  
반도체
전공정
장비
(Hardware)		 반도체
전공정장비
Overview		 • 반도체 전공정(Front-End Process) 소개
• 반도체 전공정 장비(Front-End Equipment) 소개
; Photo, Etch, Diffusion, Ion Implant, ThinFilm
(CVD & PVD), Cleaning & CMP 장비 소개		  
반도체 전공정
장비 구조 및
동작 원리		 • 반도체 전공정 장비 구조 및 동작 원리
; Photo, Etch, Diffusion, Ion Implant, ThinFilm,
Cleaning & CMP 장비 구조 및 동작 원리		  
반도체장비
주요 구성품
(부품) 구조 및
동작 원리		 • 반도체 장비 주요 구성품(부품) 구조 및 동작 원리
; RF Generator & Matcher, Vacuum Pump & Gauge,
Heater, ESC, MFC, Flowmeter, Chemical
Concentration Sensor, Valve, Filter, Scrubber,
Chiller etc.		  
반도체
장비
(System :
Software)		 반도체장비
Control Software
개요		 • 반도체 장비 Control Software 개요
; 반도체 장비의 특성 (일반 산업장비와의 차이점)
반도체 제조 장비 및 설비 Software 개념 및 종류
(반도체 장비 Control Software의 발전사		  
반도체
Control Software
구조 및 동작
원리		 • 반도체장비 Control Software의 구조 및 동작원리
; CTMC 개념
Module controller의 구조와 동작 원리
반도체장비 Control Software의 개발 과정
반도체장비 Control Software의 Maintenance
Equipment to Factory Comunication		  
반도체장비
Software
한계와 과제		 • 반도체장비 Software의 한계와 과제
; 제어산포와 공정 및 장비 data의 처리 방법
CTCM과 TTTM
Diagnosis of equipment		  

* 행사 준비과정에서 일부 내용이 변경될 수 있사오니 이 점 양해를 바랍니다.