한국반도체디스플레이기술학회
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[KIDS] 제 2회 플라즈마 기술 교류회 [플라즈마 공정 기초의 이해] (4/12 사전등록 마감)

작성일시 : 2019-04-16 17:50:05 조회수 : 388
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제2회 플라즈마 기술 교류회
 
일시: 2019년 04월 19일 (금), 12:30 ~ 18:00
장소: 한양대학교 백남학술관 강당
주최: (사)한국정보디스플레이학회, 플라즈마/장비 연구회
 
[모시는 글]
 
안녕하십니까? 한국정보디스플레이 플라즈마/장비연구회 회장을 맡고 있는 충남대학교 물리학과 유신재 교수입니다. 추운 겨울이 지나고 꽃피는 봄이 왔습니다. 하지만 연일 계속되는 미세먼지로 자연의 아름다움을 만끽하기에는 어려움이 있는 것 같습니다. 이런 계절에는 실외에서 자연을 즐기는 것보다 실내에서 그간 인류가 발견한 자연의 아름다움을 공부하고 즐기는 것이 좋을 듯합니다. 저희 플라즈마/장비 연구회에서는 이러한 취지를 살리어 “플라즈마 공정 기초의 이해”라는 제목으로 제 2회 플라즈마 기술 교류회”를 준비하게 되었습니다. 이번 기술 교류회는 반도체 공정에 사용되는 진공의 원리, 플라즈마원의 원리와 장단점, 플라즈마 공정의 기초등의 내용을 준비하고 있습니다. 이번 교류회 역시 플라즈마와 RF 및 공정 관련 기술을 초보자의 레벨에서 이해할 수 있도록 쉽게 준비하였으니, 관련 분야 대학원생 및 산업체 관계자 분들의 많은 참여를 부탁드립니다. 감사합니다.

한국정보디스플레이학회 플라즈마/장비 연구회장 유신재

한국정보디스플레이학회 회장 유재수
 
[Program]
 
시간                     발표제목                                                                             발표자                                비고
 
12:30 ~ 13:40     진공의 기초와 플라즈마 활용                                               충남대 유신재 교수            70분
 
 
13:40 ~ 14:50     플라즈마 소스의 원리와 활용                                               한양대 정진욱 교수            70분
 
 
14:50 ~ 15:10      Coffee Break                                                                                                                  10분
 
15:10 ~ 16:00      플라즈마 식각 기술                                                             성균관대 염근영 교수          50분
 
16:10 ~ 17:00      Key Challenges of Plasma Etching                                     삼성전자 이동석 박사          50분
 
17:00 ~ 17:50     반도체 공정을 위한 플라즈마소스 디자인의 Key Issues       카이스트 장홍영 교수         50분
 
17:50 ~               종합토론
 
[참가신청]
 
1. 사전등록기한 : 2019년 4월 12일(금)까지
2. 사전등록방법 : http://k-ids.or.kr/ 의 학술행사 > 학회연구회행사 > 제2회 플라즈마 기술 교류회 > 상세내용보기 > 사전등록 및 확인(왼쪽) 에서 신청 후 등록비 납부
3. 결제 방법: 카드 결제 혹은 무통장 입금
(입금계좌: 수협은행, 1010-1188-9947, (사)한국정보디스플레이학회)
* 세금계산서 발행을 원할 경우, 사전 등록 후 사업자 등록증을 kids1@k-ids.or.kr 로 송부
 
[등록비]
 
1. 사전등록
회원
일반   120,000원
학생    80,000원

비회원
일반  180,000원
학생  110,000원
 
2. 현장등록: 사전등록가에 2만원 추가
* 현장 접수 시 대기시간이 길어질 수 있어 사전 등록을 권장합니다.
* 주차 지원되지 않습니다. 대중교통 이용 바랍니다.
 
* 비회원 등록자는 행사 종료 후 KIDS홈페이지에서 회원가입 시, 입회비와 올해 연회비가 납부처리 됨
 
[문의처]
 
1. 등록 및 결제 관련 문의: 학회 이소연 사원 (Tel: 02-563-7922/ email: kids3@k-ids.or.kr)
2. 행사 내용 관련 문의: 충남대학교 유신재 교수 (email: sjyou@cnu.ac.kr)
 

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